أحدث قضية للشركة حول Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. الشهادات

في الحقل المتطور لتصنيع أشباه الموصلات، أي تغيير طفيف في بيئة الإنتاج يمكن أن يكون له تأثير حاسم على جودة المنتج.كمصنع محترف مع سنوات من الخبرة العميقة في صناعة معدات التطهير، غوانغجو غرفة نظيفة تشغيل الشركة المحدودة يفهم بعمق الموقف الأساسي للسيطرة على فرق ضغط تدفق الهواء في غرف نظيفة أشباه الموصلات. اليوم،سنقوم بتحليل شامل لحلول التحكم في فرق ضغط تدفق الهواء للغرف النظيفة للشاشات، تساعدك على خلق بيئة إنتاج مستقرة وفعالة.

عملية تصنيع رقائق أشباه الموصلات حساسة للغاية بمجرد أن تخلط الملوثات مثل جزيئات الغبار والكائنات الدقيقةيمكن أن تسبب مشاكل خطيرة مثل الدوائر المختصرة والمفتوحة في الرقائقخذ عملية التصوير الحجري للشرائح المتقدمة على سبيل المثال. لقد وصل عرض الخط على الشرائح إلى مستوى نانومتر. جسيم غبار قطره 0.1 ميكرومتر يكفي لسبب الانحرافات في نمط الطباعة الحجريةمن خلال بناء فرق ضغط تدفق الهواء بشكل معقول والحفاظ على الغرفة النظيفة في حالة ضغط إيجابي ، يمكن حظر الملوثات الخارجية بفعالية ،بناء حاجز وقائي غير مرئي لإنتاج الرقائق.

تصنيع أشباه الموصلات يشمل مجموعة متنوعة من العمليات المعقدة مثل التصوير الحجري والحفر والتغليف. كل عملية لديها متطلبات مختلفة لدرجة حرارة البيئة والرطوبةوالنظافةيمكن أن يضمن فرق ضغط تدفق الهواء المستقر أن يتم الحفاظ على المعلمات البيئية لكل منطقة دائمًا ضمن النطاق المطلوب من العملية.توفير ضمانات قوية للتقدم السلس للعمليةفي عملية الحفر، إذا كان تدفق الهواء غير مستقر، فإن توزيع غاز الحفر سيكون غير متساو،مما يؤدي إلى معدلات حفر غير متسقة ويؤثر بشكل خطير على دقة الحفر وجودة المنتج للشرائح.

• منطقة الإنتاج الأساسية: يتم تنفيذ العمليات الرئيسية مثل الطباعة الحجرية والحفر والتعاطي في هذه المنطقة. هنا ، فإن متطلبات النظافة والضغط الإيجابي مرتفعة للغاية.يوصى بأن يكون الضغط في منطقة الإنتاج الأساسية أعلى بـ 15 - 25 با من الضغط في المناطق المساعدة المجاورة، وبالتالي تقليل خطر غزو الملوثات الخارجية وضمان أن عملية تصنيع الشريحة لا تتعرض للتلوث.
• منطقة الإنتاج المساعد: المناطق المساعدة مثل منطقة التخزين المؤقت للمواد ومنطقة صيانة المعدات، على الرغم من أن متطلبات النظافة أقل قليلاً من تلك الموجودة في منطقة الإنتاج الأساسية،لا يزال بحاجة إلى الحفاظ على ضغط إيجابي معينبشكل عامأنها أعلى بمقدار 5 - 10 Pa من المناطق مثل الممرات العادية لمنع الملوثات في الممرات من دخول المنطقة المساعدة وتعريض بيئة منطقة الإنتاج الأساسية للخطر.
• ممرات الموظفين والمواد: بالنسبة للممرات التي يدخل فيها الموظفون والمواد الخروج من ورشة العمل ، يجب ضبط تراجع فرق الضغط معقول بعناية ليشكل تأثير قفل هوائي فعال.عندما تدخل المنطقة النظيفة من المنطقة غير النظيفة، يزداد الضغط تدريجياً مع مرور كل باب، ويعمل كطبقات من نقاط التفتيش، ويحجب بشكل فعال من الملوثات من دخول الغرفة النظيفة جنباً إلى جنب مع الموظفين والمواد.

• أجهزة استشعار الضغط عالية الدقة: أجهزة استشعار الضغط عالية الدقة التي طورتها شركة Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd بشكل مستقل لديها أداء ممتاز. يمكن أن تصل دقة قياسها إلى ± 0.1 Pa ،والتي يمكن أن تلتقط بدقة تغيرات الضغط في كل منطقة من ورشة العمل في الوقت الحقيقي، مما يضمن الكشف عن تقلبات الضغط غير الطبيعية على الفور ويوفر أساسا قويا لاتخاذ تدابير مضادة في الوقت المناسب.
• نظام التحكم في التهوية الذكي: يرتبط هذا النظام ارتباطًا وثيقًا بأجهزة استشعار الضغط عالية الدقة. وفقًا لقيم فرق الضغط المحددة مسبقًا ، يمكنه ضبط سرعة المروحة وفتح الصمام تلقائيًا ودقيقًا ،تحقيق التحكم الذكي والمتطور في تدفق الهواءبمجرد أن يكتشف أن الضغط في منطقة معينة أقل من القيمة المحددة،زيادة تلقائية لحجم إمدادات الهواء أو تقليل حجم غازات العادم الهواء لاستعادة الضغط بسرعة إلى المستوى الطبيعي.

معايرة أجهزة استشعار الضغط كل ستة أشهر لضمان دقة وموثوقية بيانات القياس.إجراء فحص شامل لمعدات التهوية بانتظام، تحقق بعناية ما إذا كانت محركات المروحة مرتدية ، ما إذا كانت الصمامات يمكن أن تفتح وتغلق بشكل طبيعي ، الخ.واستبدال المكونات القديمة أو المتضررة في الوقت المناسب لضمان أن المعدات دائما في أفضل حالة تشغيلية.

تنفيذ تدريب منهجي لموظفي ورشة العمل حول معرفة التحكم في فرق ضغط تدفق الهواء.تمكينهم من فهم أهمية التحكم في فرق الضغط وطرق التعامل مع الحالات غير الطبيعيةعندما يحدث إنذار فرق الضغط، يمكن للموظفين تحليل الأسباب المحتملة بسرعة، مثل فشل المعدات وتسرب الأنابيب،وتتخذ تدابير مضادة فعالة في الوقت المناسب لضمان استمرارية واستقرار إنتاج الورشة.

بناء نظام مراقبة المهنية لفرق ضغط تدفق الهواء و إجراء تحليل متعمق لبيانات الضغط المتراكمة على المدى الطويليمكن اكتشاف المشاكل المحتملة بشكل واضحعلى سبيل المثال ، إذا كان الضغط في بعض المناطق يتقلب بشكل متكرر ، فقد يكون ذلك بسبب فشل المعدات أو توزيع الهواء غير المعقول ،ومن ثم يمكن إجراء تعديلات تحسين مستهدفة لتحسين حلول التحكم في فرق ضغط تدفق الهواء بشكل مستمر.

مع التراكم الفني العميق وخبرة مشروع غنية، غوانغجو غرفة نظيفة تشغيل الشركة المحدودة. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroom. إذا كنت تخطط لبناء غرفة نظيفة أشباه الموصلات أو تواجه مشاكل ذات صلة أثناء تشغيل ورشة عمل قائمة، يرجى الشعور بالحرية في الاتصال بنا.دعونا نعمل معاً لخلق بيئة تصنيع نظيفة للشرائح نصف الموصلة رائدة في الصناعة والمساهمة في تطوير صناعة الشرائح نصف الموصلة.