logo
المنزل >

أحدث قضية للشركة حول Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. الشهادات

بناء غرف نظيفة خالية من الغبار لنصف الموصلات من أكسيد الغاليوم الأزرق

2024-12-04

أحدث قضية للشركة حول بناء غرف نظيفة خالية من الغبار لنصف الموصلات من أكسيد الغاليوم الأزرق

في مجال أشباه الموصلات، تندفع ثورة تكنولوجية مدفوعة بمواد جديدة. أكسيد الغاليوم الأزرق الداكن، باعتباره "نجمًا صاعدًا" واعدًا للغاية من بينها، قد فتح مسارات جديدة للبحث والتطوير لأجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء بخصائصه الممتازة. ومع ذلك، لتحويله من إنجازات المختبر إلى الإنتاج الصناعي على نطاق واسع، فإن غرفة نظيفة خالية من الغبار تناسب خصائصه أمر ضروري.شركة قوانغتشو لتشييد الغرف النظيفة المحدودة.، التي شاركت بعمق في صناعة التنقية لسنوات عديدة، ستأخذك لفهم شامل للنقاط الرئيسية في بناء الغرف النظيفة الخالية من الغبار لأشباه موصلات أكسيد الغاليوم الأزرق الداكن اليوم.

أولاً: التحكم الصارم في مستويات التنقية

تعتبر عملية إنتاج أشباه موصلات أكسيد الغاليوم الأزرق الداكن حساسة للغاية للشوائب مثل الغبار والكائنات الدقيقة. في العمليات الرئيسية مثل تصنيع الرقائق، والتصوير الضوئي، والحفر، حتى الجسيمات الصغيرة "المختلطة" يمكن أن تسبب دوائر قصيرة في الرقائق، وتدهور الأداء، وانخفاضًا كبيرًا في معدل الإنتاجية. لذلك، عادةً ما يحتاج مستوى تنقية ورشة العمل إلى الوصول إلى المعايير من الفئة 10 أو حتى أعلى. وهذا يعني أن عدد جزيئات الغبار التي يزيد حجمها عن 0.5 ميكرومتر في كل متر مكعب من الهواء يتم التحكم فيه بدقة في حدود 10.قوانغتشو كونلينغتعتمد تقنيات ترشيح الهواء الرائدة عالميًا. من الترشيح الأولي لاعتراض الجسيمات الكبيرة من الغبار، إلى الترشيح متوسط الكفاءة لالتقاط الشوائب متوسطة الحجم، ثم من خلال مرشحات الهواء الجسيمية عالية الكفاءة (HEPA) ومرشحات الهواء ذات الاختراق المنخفض للغاية (ULPA) لـ "الفحص" طبقة تلو الأخرى، فإنها تضمن أن الهواء الداخل إلى ورشة العمل خالٍ تقريبًا من الشوائب، مما يضع أساسًا نقيًا للإنتاج الدقيق.

ثانيًا: التحكم الدقيق في درجة الحرارة والرطوبة

تختلف الخصائص الكهربائية واستقرار البنية البلورية لمواد أشباه موصلات أكسيد الغاليوم بشكل كبير في ظل بيئات مختلفة لدرجة الحرارة والرطوبة. عادةً ما يتم قفل نطاق درجة الحرارة المناسب بين 22 درجة مئوية و 25 درجة مئوية، ويتم الحفاظ على الرطوبة عند 40٪ - 50٪ رطوبة نسبية (RH). تم تجهيز ورشة العمل بنظام تحكم ذكي في درجة الحرارة والرطوبة. من خلال أجهزة استشعار عالية الدقة تراقب بيانات البيئة في الوقت الفعلي، فإنها ترتبط بمكيفات الهواء وأجهزة الترطيب وأجهزة إزالة الرطوبة للاستجابة والتكيف بسرعة. عندما ترتفع درجة الحرارة في أيام الصيف الحارة، تعمل وحدة التبريد بكفاءة لتبريدها؛ عندما يكون الجو جافًا في الشتاء، تقوم معدات الترطيب بالرش بدقة لزيادة الرطوبة، مما يخلق "مناخًا جزئيًا" ثابتًا لدرجة الحرارة والرطوبة للحفاظ على مواد ومعدات أكسيد الغاليوم في أفضل حالة عمل وتقليل مخاطر انحرافات العملية.

ثالثًا: تدابير دقيقة مضادة للكهرباء الساكنة

في معالجة أشباه الموصلات، تعتبر الكهرباء الساكنة "قاتلًا خفيًا". دوائر رقائق أكسيد الغاليوم الأزرق الداكن دقيقة، ويمكن لظاهرة التفريغ الناتجة عن الكهرباء الساكنة أن تتسبب بسهولة في انهيار الترانزستورات وتلف الرقائق. المواد الأرضية مصنوعة من مادة PVC المضادة للكهرباء الساكنة أو أرضيات التسوية الذاتية الإيبوكسي، مع التحكم في مقاومة السطح بدقة في نطاق 10^6 - 10^9 أوم لتبديد الكهرباء الساكنة بسرعة. تم تجهيز المعدات وطاولات العمل بأجهزة إزالة الكهرباء الساكنة، وتقوم مراوح الأيونات بنفخ الأيونات الموجبة والسالبة باستمرار لتحييد الشحنات. يرتدي المشغلون ملابس عمل وأغطية أحذية مضادة للكهرباء الساكنة، وهم "مسلحون" بالكامل للقضاء على المخاطر الخفية لتراكم الكهرباء الساكنة والتفريغ من المصدر وحماية سلامة المنتجات.

رابعًا: التخطيط العلمي للتهوية وتنظيم تدفق الهواء

لا يمكن للتهوية الجيدة في ورشة العمل أن تضمن الهواء النقي فحسب، بل تساعد أيضًا في استنفاد غازات النفايات العملية وتبديد الحرارة للتبريد. بالنسبة للعمليات المحددة في إنتاج أكسيد الغاليوم، يتم اعتماد مزيج من تدفق أحادي الاتجاه وتشكيلات توزيع الهواء المضطرب. في منطقة التصوير الضوئي، يحمل التدفق أحادي الاتجاه الرأسي بمعدل تدفق ثابت (0.3 - 0.5 متر في الثانية) الغبار بدقة؛ في مناطق مثل تخزين المواد والتجميع، يتم إعداد تهوية التدفق المضطرب لاستبدال الهواء بكفاءة. يتم اختيار مواد قنوات التهوية مع مراعاة الوقاية من الحرائق والوقاية من الصدأ ومعدلات تسرب الهواء المنخفضة. يتم اختيار المراوح بدقة وفقًا لحجم ورشة العمل وتكرار تغييرات الهواء لضمان أن حجم الهواء وضغط الهواء مناسبان والحفاظ على التدفق المنظم للهواء وتخفيف تركيز المواد الضارة.

خامسًا: التخطيط المناسب لمعدات العمليات

تعتبر عملية تحضير أكسيد الغاليوم الأزرق الداكن معقدة، وتختلف آلات التصوير الضوئي وآلات الحفر ومعدات ترسيب البخار الكيميائي وما إلى ذلك في الحجم والوزن ولها متطلبات خاصة للاهتزاز أثناء التشغيل وتبديد الحرارة. يلتزم تخطيط ورشة العمل بمبدأ "تدفق العملية السلس وعدم التدخل بين المعدات". يتم تقسيم مناطق وظيفية مختلفة، ويتم وضع المعدات الثقيلة في مناطق ذات قدرة تحمل جيدة وامتصاص صدمات ممتاز. يتم حجز قنوات تبديد الحرارة وتركيب أجهزة التبريد وفقًا لمنحنيات تبديد الحرارة للمعدات. المسافات الفاصلة بين المعدات المتجاورة معقولة لتسهيل الصيانة والتشغيل والتصحيح، مما يتيح الربط الفعال للمعدات والإنتاج المستقر لمنتجات أشباه الموصلات عالية الجودة.

سادسًا: إدارة الموظفين والتدريب المحدث

الناس هم عامل رئيسي في تشغيل ورشة العمل، لكنهم أيضًا مصدر محتمل للتلوث. يحتاج الموظفون الذين يدخلون الغرفة النظيفة الخالية من الغبار لأكسيد الغاليوم الأزرق الداكن إلى المرور بعملية ارتداء صارمة، من إزالة الغبار من دش الهواء إلى ارتداء ملابس واقية معقمة وأقنعة وقفازات، طبقة تلو الأخرى للتنظيف. يتم إجراء تدريب احترافي بانتظام لتعزيز معرفة الموظفين بعمليات أشباه الموصلات، ومعايير التشغيل في الغرف النظيفة، والقدرة على الاستجابة لحالات الطوارئ. يتم تزويد الموظفين الجدد بإرشادات عملية من قبل الزملاء ذوي الخبرة لإتقان تفاصيل التعامل مع المواد وتشغيل المعدات، مما يقلل من احتمالية تلوث المنتج وتلفه بسبب الأخطاء البشرية.

إن المشاركة في بناء غرف نظيفة خالية من الغبار لأشباه موصلات أكسيد الغاليوم الأزرق الداكن تمثل تحديًا وفرصة في آن واحد.شركة قوانغتشو لتشييد الغرف النظيفة المحدودة.، تعتمد المحدودة على خبرتها الغنية في المشاريع، وفريقها الفني المحترف، ومنتجات التنقية عالية الجودة لتخصيص حلول شاملة طوال العملية. من التخطيط الأولي والبناء إلى التشغيل والصيانة اللاحقة، سنبذل جهودًا دقيقة لمساعدة الشركات على انتزاع مكانة الصدارة في صناعة أكسيد الغاليوم الأزرق الداكن. إذا كنت تخطط لمثل هذا المشروع الخاص بورشة العمل أو لديك أسئلة حول تفاصيل البناء، فيرجى عدم التردد في الاتصال بنا على الفور ودعنا نعمل معًا لإنشاء نموذج جديد لتصنيع أشباه الموصلات النظيفة.