في مجال أشباه الموصلات، ثورة تكنولوجية مدفوعة بمواد جديدة تتقدموقد فتحت مسارات جديدة للبحث والتطوير في أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء مع خصائصها الممتازةومع ذلك ، لتحويلها من إنجازات المختبر إلى إنتاج صناعي واسع النطاق ، غرفة نظيفة خالية من الغبار تناسب خصائصها أمر ضروري..، Ltd. ، التي كانت متورطة بعمق في صناعة التنقية لسنوات عديدة،سوف تأخذك إلى فهم شامل النقاط الرئيسية في بناء غرف نظيفة خالية من الغبار لأكسيد الغاليوم الأزرق العميق نصف الموصلات اليوم.

I. مراقبة صارمة لمستويات التنقية

عملية إنتاج أشباه الموصلات الأزرق الداكنة من أكسيد الغاليوم حساسة للغاية للشوائب مثل الغبار والكائنات الحية الدقيقة.والحفر، حتى الجسيمات الصغيرة "المخلوطة في" يمكن أن يسبب حلقات قصيرة في الرقائق، وتدهور الأداء، وتقليل كبير في معدل الإنتاج.مستوى تنقية الورشة يحتاج عادةً إلى الوصول إلى معايير الصف 10 أو أعلىهذا يعني أن عدد جزيئات الغبار ذات حجم الجسيمات أكبر من 0.5 ميكرومترا في كل متر مكعب من الهواء يتم التحكم فيها بدقة ضمن 10.قوانغتشو كونلينغ تعتمد تقنيات تصفية الهواء الرائدة عالمياًمن التصفية الأولية لاعتراض جسيمات الغبار الكبيرة إلى التصفية المتوسطة الكفاءة لالتقاط الشوائب المتوسطة الحجمومن ثم من خلال مرشحات الهواء ذات الكفاءة العالية للجسيمات (HEPA) ومرشحات الهواء ذات التدفق المنخفض للغاية (ULPA) لـ "الفحص" الطبقي، يضمن أن الهواء الذي يدخل الورشة خال تقريباً من الشوائب، مما يضع أساساً نقياً للإنتاج الدقيق.

التحكم الدقيق في درجة الحرارة والرطوبة

الخصائص الكهربائية واستقرار الهيكل البلورية لمواد أشباه الموصلات أكسيد الغاليوم تختلف بشكل كبير تحت مختلف درجات الحرارة والرطوبة.عادة ما تكون نطاق درجة الحرارة المناسب بين 22 و 25 درجة مئوية، ويتم الحفاظ على الرطوبة عند 40٪ - 50٪ الرطوبة النسبية (RH). تم تجهيز الورشة بنظام تحكم ذكي في درجة الحرارة والرطوبة.من خلال أجهزة استشعار عالية الدقة التي تراقب البيانات البيئية في الوقت الحقيقيعندما ترتفع درجة الحرارة في أيام الصيف الحارةتعمل وحدة التبريد بكفاءة لتبريدعندما يكون الجو جافًا في فصل الشتاء ، فإن جهاز الترطيب يرش بدقة لزيادة الرطوبة ،إنشاء "مناخ صغير" ثابت في درجة الحرارة والرطوبة للحفاظ على مواد وأجهزة أكسيد الغاليوم في أفضل حالة عمل وتقليل خطر انحرافات العملية.

III. تدابير مكافحة التثبت الدقيقة

في معالجة أشباه الموصلات، الكهرباء الثابتة هي "القاتل الخفي". دوائر رقائق أكسيد الغاليوم الزرقاء العميقة جيدة،و ظاهرة التفريغ الناجمة عن الكهرباء الثابتة يمكن بسهولة تحطيم الترانزستورات وتلف الرقائقمواد الأرضية مصنوعة من PVC مضاد للستاتيك أو الأرضيات الايبوكسي ذاتية التسوية،مع مقاومة السطح التي يتم التحكم فيها بدقة في نطاق 10 ^ 6 - 10 ^ 9 أوم لتبديد الكهرباء الثابتة بسرعةيتم تجهيز المعدات ومكاتب العمل بمحطات ثابتة، ومروحة الأيونات تنفخ باستمرار الأيونات الإيجابية والسلبية لتحييد الشحنات.يرتدي المشغلون ملابس عمل مضادة للستاتيكية وغطاء الأحذية، تكون "مسلحة" بالكامل للقضاء على المخاطر الخفية لتراكم الكهرباء الساكنة والفراغ من المصدر وحماية سلامة المنتجات.

التخطيط العلمي للتهوية وتنظيم تدفق الهواء

التهوية الجيدة في ورشة العمل لا يمكن أن تضمن الهواء النقي فحسب، بل تساعد أيضاً في تصريف غازات عمليات العادم وتبديد الحرارة للتبريد.يتم اعتماد مزيج من أشكال توزيع الهواء ذات التدفق أحادي الاتجاه وتدفق مضطربفي مجال الطباعة الحجرية ، يتم نقل الغبار بدقة من خلال تدفق رأسي أحادي الاتجاه مع معدل تدفق ثابت (0.3 - 0.5 متر في الثانية) ؛ في مجالات مثل تخزين المواد وتجميعها ، يتم استخدام التدفق الرأسي في جميع أنحاء العالم.يتم إعداد تهوية التدفق المضطرب لاستبدال الهواء بكفاءةيتم اختيار مواد قنوات التهوية مع الأخذ بعين الاعتبار الوقاية من الحريق، والوقاية من الصدأ، وانخفاض معدلات تسرب الهواء. Fans are accurately selected according to the scale of the workshop and the frequency of air changes to ensure that the air volume and air pressure are suitable and maintain the orderly flow of air and dilute the concentration of harmful substances.

V. التصميم المناسب لمعدات العملية

عملية تحضير أكسيد الغاليوم الأزرق العميق معقدة، وأجهزة الطباعة الحجرية، آلات الحفر، معدات ترسب البخار الكيميائي، الخ تختلف في الحجم، الوزن،ولها متطلبات خاصة للهزات أثناء التشغيل وتبديد الحرارة- يلتزم تخطيط الورشة بمبدأ "تدفق عملية سلس وعدم التدخل بين المعدات".ويتم وضع المعدات الثقيلة في المناطق ذات تحمل جيد للحمل وامتصاص الصدمات الممتازيتم حجز قنوات إبعاد الحرارة ويتم تثبيت أجهزة التبريد وفقا لوجهات إبعاد الحرارة للمعدات.الفواصل بين المعدات المجاورة معقولة لتسهيل الصيانة، التشغيل، وتصحيح الأخطاء، مما يتيح الربط الفعال للمعدات والإنتاج المستقر لمنتجات أشباه الموصلات عالية الجودة.

VI - تحسين إدارة الموظفين وتدريبهم

الناس عامل رئيسي في تشغيل الورشة، لكنهم أيضا مصدر محتمل للتلوث.يجب على الموظفين الذين يدخلون الغرفة النظيفة الخالية من الغبار لأكسيد الغاليوم الأزرق العميق أن يمروا بعملية صيانة صارمة، من إزالة الغبار في الاستحمام الهوائي إلى ارتداء ملابس وقائية معقمة، أقنعة، و قفازات، طبقة تلو الأخرى للتنظيف.يتم إجراء تدريبات مهنية بانتظام لتعزيز معرفة الموظفين بعمليات أشباه الموصلات، معايير التشغيل في الغرف النظيفة، والقدرة على الاستجابة لحالات الطوارئ.يتلقى الموظفون الجدد إرشادات عملية من زملائهم ذوي الخبرة ليتقنوا تفاصيل التعامل مع المواد وتشغيل المعدات، مما يقلل من احتمال تلوث المنتج والأضرار الناجمة عن الأخطاء البشرية.

الانخراط في بناء غرف نظيفة خالية من الغبار لأقراص نصف الموصلات من أكسيد الغاليوم الزرقاء الداكنة هو تحد وفرصة. ، المحدودة تعتمد على خبرة مشروعها الغنية، الفريق الفني المهنية، ومنتجات التطهير عالية الجودة لتخصيص حلول واحدة في جميع أنحاء العملية.البناء إلى التشغيل والصيانة في وقت لاحق، سنبذل جهود دقيقة لمساعدة الشركات على الاستيلاء على أرضية عالية في صناعة أكسيد الغاليوم الأزرق العميق.إذا كنت تخطط لمشروع ورشة عمل كهذه أو لديك أسئلة حول تفاصيل البناء، رجاءً لا تتردد في الاتصال بنا على الفور ودعنا نعمل معاً لخلق نموذج جديد لتصنيع أشباه الموصلات النظيفة.