في عصر التطور التكنولوجي السريع، رقائق الكم، كمكونات أساسية في مجال التكنولوجيا المتطورة، لديها متطلبات صارمة للغاية لبيئة التصنيع.شركة غوانغتشو لإنشاء غرف نظيفة.، المحدودة، وهي شركة متخصصة في تصنيع معدات التطهير ذات سنوات من الخبرة في هذه الصناعة، ستكشف عن عملية بناء غرف نظيفة لتصنيع الرقائق الكمية اليوم.

1. التخطيط قبل المشروع وتحليل الاحتياجات

الخطوة الأولى في بناء غرفة نظيفة للشرائح الكمية ذات أهمية كبيرة. من الضروري أن يكون لدينا فهم عميق لكل حلقة في عملية تصنيع الشريحة.من الطباعة الحجرية الشريحة، الحفر، وترسب إلى التعبئة والتغليف وغيرها من العمليات، والخطوات المختلفة لديها متطلبات مختلفة للمعلمات البيئية مثل درجة الحرارة والرطوبة وعدد جزيئات الغبار،والتحكم الكهربائيالتواصل عن كثب مع شركات تصنيع الرقائق بناءً على نطاق الإنتاج والطرق التقنية، تحديد مساحة وتخطيط الورشة بدقة،وتخطيط اتجاهات تدفق الموظفين، المواد والمنتجات لضمان أن التدفقات الثلاث لا تتداخل مع بعضها البعض وتجنب التلوث المتقاطع، ووضع أساس متين لإنتاج فعال في المستقبل.

2تحديد مستوى التطهير

عادةً ما يتطلب تصنيع الرقائق الكمية مستوى تنقية مرتفع للغاية، عادةً ما يكون درجة ISO 3 أو أعلى. وهذا يعني أن عدد جزيئات الغبار أكبر من 0.1 ميكروميتر لكل متر مكعب من الهواء يجب أن يتم السيطرة عليها بدقة إلى أرقام أحادية الأرقاموفقًا لدقة عملية تصنيع الرقاقة ، حدد مستويات تنقية المناطق المختلفة مثل منطقة التصوير الحجري ومنطقة الاختبار النظيفة للغاية ،حتى يتم تكوين معدات التطهير المستهدفةلضمان عدم إزعاج الشريحة من قبل شوائب الغبار على المستوى الميكرو وضمان معدل إنتاج الشريحة.

3تصميم الهياكل المعمارية

يجب أن تكون البنية المعمارية للورشة مطابقة لمتطلبات التطهير يجب أن تكون الجدران والأرضيات والسقوف مصنوعة من مواد عالية من الهواء وسهلة التنظيفوالمواد المضادة للستاتيكيمكن اختيار لوحات فولاذية مغلفة بالألوان للجدران ، مع مفاصل سلسة ؛ يمكن استخدام البروتوكس الايبوكسي للمساومة الذاتية للطابق ، والذي هو مقاوم للارتداء ، مقاوم للتآكل ، ومضاد للثبات;تم تصميم السقف ليكون متاحاً للناس، مما يسهل صيانة المعدات في وقت لاحق.يتم تثبيت مرشحات الهواء ذات الكفاءة العالية للجسيمات (HEPA) ومرشحات الهواء ذات التدفق المنخفض للغاية (ULPA) لضمان إمدادات الهواء المتساوية وتأثيرات تنقية ثابتة ودائمة.

4اختيار وتثبيت نظام تنقية الهواء

هذا هو الرابط الأساسي، يتكون من وحدات تكييف الهواء، قنوات إمدادات وإرجاع الهواء، والمرشحات، الخ.الرطوبة، إزالة الرطوبة، وتصفية الهواء، تنظيم بدقة درجة الحرارة والرطوبة مع نطاق خطأ صغير جدا.يتم تخطيط قنوات الهواء الإمداد والعودة بشكل معقول وفقا لتخطيط ورشة العملويتم استخدام أوراق الفولاذ المسالجة عالية الجودة لضمان ضيق الهواء ومنع تسرب الهواء من التسبب في فشل التطهير.المرشح الرئيسي يزيل الغبار الكبير، فلتر الكفاءة المتوسطة يزيد من تنقية الهواء،والمرشحات عالية الكفاءة و فائقة الكفاءة توفر هواء نظيف جداً تقريباً و خالي من الغبار لمنطقة تصنيع الرقائق.

5التحكم بالكهرباء الستاتيكية والاهتزازات الصغيرة

الشرائح الكمية حساسة للغاية للكهرباء الثابتة فان تفريغ كهربائي ثابت صغير يمكن أن يضر بالشريحة Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe thresholdفي نفس الوقت، بالنظر إلى الاهتزازات الدقيقة الناتجة عن تشغيل المعدات وحركة الموظفين، يتم اعتماد تصاميم امتصاص الصدمات من أساس المبنى، and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.

6دعم نظم المياه والكهرباء والغاز

إمدادات ثابتة وموثوقة من المياه والكهرباء والغاز هي ضمان لتشغيل ورشة العمل.تلبية احتياجات العمليات مثل التنظيف والحفر،وجودة المياه تصل إلى مستوى المياه النقية للغاية من الدرجة الإلكترونية. نظام الطاقة يتبنى إمدادات الطاقة مزدوجة الدوائر،مجهزة بمصدر طاقة غير قابل للانقطاع للتعامل مع انقطاع الكهرباء المفاجئ وضمان التشغيل المستمر للمعدات الرئيسيةنظام الغاز يقوم بتوزيع الغازات الخاصة مثل النيتروجين والارغون بدقة. يتم إغلاق خطوط الأنابيب وتطهيرها بدقة لمنع تلوث الغاز من التأثير على جودة الشريحة.

7تركيب المعدات وتشغيلها

يتم تثبيت معدات التطهير ومعدات الإنتاج بالتسلسل. يجب تثبيتها وفقًا لتفاصيل التثبيت بدقة لضمان أن المعدات مستوية ومستقرة,ومتصلة بشكل وثيق. بعد التثبيت، يتم تشغيل المشترك. محاكاة ظروف الإنتاج، واختبار شامل لتأثير التطهير، ومراقبة درجة الحرارة والرطوبة،وتوصيل المعدات، وتعديل المعلمات مرارا وتكرارا حتى تلبي جميع المؤشرات متطلبات التصميم، وخلق بيئة تصنيع مثالية لإنتاج رسمية من الرقائق الكم.

شركة (غوانغتشو) للبناء مع فريقها المهني والتكنولوجيا المتقدمة تتحكم بكل تفاصيل عملية بناء الغرف النظيفة للشرائح الكميةمساعدة شركات تكنولوجيا الكم للوصول إلى مستوى أعلى والبدء في رحلة جديدة لإنتاج الشرائح الكميةإذا كان لديك متطلبات لبناء غرف نظيفة، يرجى الشعور بالحرية في الاتصال بنا. دعونا نعمل معا لخلق مستقبل تكنولوجي!