حلول غرفة نظيفة لصناعة أشباه الموصلات والإلكترونيات

متطلبات ومعايير فريدة

• متطلبات النظافة القصوى: يهيمن عليها درجات ISO 5-7 (الطبقة 100-10,000) ، مع مناطق التعبئة المتقدمة التي تتطلب ISO 4 (الطبقة 10) للسيطرة على الجسيمات ≥0.1μm.

• التحكم متعدد الأبعاد: إدارة درجة الحرارة (20-24 درجة مئوية ± 0.1 درجة مئوية) ، الرطوبة (40-50٪ ± 2٪) ، الاهتزاز (≤ 50μm / s) ، والكهرباء الثابتة (≤ 100V) في نفس الوقت.

• المعايير الدولية: يجب أن تكون متوافقة مع SEMI S2 و ISO 14644 و GMP للإلكترونيات ، مع متطلبات صارمة لعزل العملية بين مراحل الإنتاج المختلفة.

الحلول الأساسية

نظام تنقية الهواء

• هرمية الترشيح: المرشح المسبق (G4) + المرشح ذو الكفاءة المتوسطة (F9) + المرشح ذو الكفاءة المنخفضة (H13) + مرشح ULPA النهائي (كفاءة 99.999% للجزيئات ≥ 0.12μm).

• تصميم تدفق الهواء: تغطية كاملة تدفق أحادي الاتجاه (0.45m / s ± 20٪) في المناطق الأساسية ، مع معدلات تغيير الهواء تصل إلى 500 مرة / ساعة.

• تحكم الضغط: فرق ضغط المنحدر (≥ 5Pa بين المناطق المجاورة) لمنع التلوث المتبادل.

تدابير مكافحة التلوث

• إدارة المواد: أقفال الهواء للمواد الواردة، وإجراءات خصيصة لفك التعبئة وتنظيفها، والماء النقي للغاية (18.2MΩ · سم) مع TOC ≤10ppb.

• معالجة السطح: الجدران المطاومة من الفولاذ المقاوم للصدأ (304 / 316L) ، أرضيات بي في سي بلا مسام، والمواد الختامية الخالية من السيليكون.

• التحكم الكيميائي: أنظمة الصرف المغلق المحلية لعمليات الحفر، مع كفاءة إزالة الغازات الحمضية ≥99%.

استراتيجيات التشغيل الخفيفة

• مراقبة ذكية: عدادات الجسيمات في الوقت الحقيقي، وأجهزة استشعار درجة الحرارة والرطوبة، وأنظمة التحكم المركزية القائمة على إنترنت الأشياء.

• تحسين الطاقة: وحدات استرداد الحرارة (وفور الطاقة ≥30٪) ومروحة تردد متغير وإضاءة غرفة نظيفة LED.

• بروتوكولات الصيانة: اختبار سلامة مرشحات HEPA/ULPA ربع سنوي، والتحقق من سرعة تدفق الهواء شهريا، والتحقق من أداء شامل سنوي.

الاتجاهات المستقبلية

• التصغير: التطوير نحو غرف نظيفة ISO 3 (الطبقة 1) للتكيف مع عقد العملية 3nm وأصغر.

• الابتكار الأخضر: اعتماد المواد المنخفضة لـ VOC ودمج الطاقة المتجددة.

• التحول الرقمي: الصيانة التنبؤية القائمة على الذكاء الاصطناعي والتوائم الرقمية للتشغيل الافتراضي.

غرفة نظافة أشباه الموصلات تتطلب توازناً بين النظافة القصوى واستقرار العملية وكفاءة التشغيلوأنظمة إدارة ذكية، هذه المرافق الحيوية تدعم إنتاج المكونات الإلكترونية عالية الأداء.